製品
PLZT高速光スイッチ
1xN光スイッチ

NxN光スイッチ


PLZT光スイッチングシステム
光スイッチングシステム


高速PLZT VOA
高速VOAアレイ


PLZTカスタム光デバイス
高速光デバイス


特殊ファイバーアレイ
小径コアファイバーアレイ


受託加工サービス
PLZT/PZT成膜・加工サービス

ダイシング、研磨

導波路ファイバー接続


受託加工サービス  

エピフォトニクスは、自社クリーンルームを有し、設計、ウエハプロセス、ポストウエハプロセス、実装、評価に渡る一貫したサービスが可能です。
  • 設計: シミュレーター、CAD、他
  • 成膜: RTA, スパッタリング、電子ビーム蒸着、イオンビーム支援蒸着、他
  • 微細加工: アライナー、スピンコーター、アッシャー、ドライエッチャー、他
  • 後工程: ダイサー、研磨機、ワイヤーボンダー、ファイバーアライナー、他
  • テスト: 挿入損失、偏波依存損失、反射損失、波長依存損失、他

PLZT/PZT成膜・加工
エピフォトニクスは、長年培ったPLZT成膜技術と微細加工技術に基づき、フォトニクス応用のPLZT成膜、圧電応用のPZT成膜、これらウエハ、およびPLZT微細加工の受託サービスをご提供致します。
  • フォトニクス用PLZT光導波路成膜
  • 圧電用PZT成膜
  • PLZT/PZTウエハ
  • PLZT/PZT微細加工

ダイシング・研磨

導波路ウエハのダイシングおよび導波路端面の研磨を行います。


ファイバー接続
端面研磨後の光導波路へ光ファイバーの高精度接続を行います。



☆ 上記製品のデータシートおよびサービスの詳細などにつきましては、sales@epiphotonics.comまでお問い合わせ下さい。